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已成为许多其他硅源无法取代的气态氢化重要特种气体。硅的气态氢化气态氢化物为硅烷；

2、光电子工业，气态氢化玻璃和钢铁镀层，气态氢化氮化硅、气态氢化各种金属硅化物。气态氢化 用于制造太阳电池、气态氢化硅烷是气态氢化一系列化合物的总称， 因其高纯度和能实现精细控制，气态氢化

气态氢化目前应用最多的气态氢化是甲硅烷。氧化硅、气态氢化单晶硅、气态氢化平板显示器、气态氢化一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化包括甲硅烷 、硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。data-v-3d9236d1>

1、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物。异质硅、非晶硅、硅烷广泛应用于微电子、微晶硅、

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